使用三維光纖探頭的測(cè)量可以在單點(diǎn)和掃描模式下進(jìn)行，特殊的探頭系統(tǒng)可用于掃描模式，能夠可靠地檢測(cè)工件表面的輪廓曲線，例如通過預(yù)設(shè)輪廓的螺旋式掃描，也可提供有角度的微型探頭，例如用于測(cè)量?jī)?nèi)部幾何形狀，也可使用雙球掃描儀，以避免與光圈有關(guān)的測(cè)量偏差，結(jié)合相應(yīng)的精確的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，如Werth VideoCheck® UA，可提高精度